Si+ 이온주입된 Si 기판의 결함형성 및 회복에 관한 연구 ( Characteristics of Si + - self implant Damage and Its Annealing Behavior )

김광일 ,  이상환 ,  정욱진 외 4명

전자공학회논문지-A

1994 .08

인이 주입된 poly-Si/SiO2/Si 기판에서 텅스텐 실리사이드의 형성에 관한 연구 ( Study on Formation of W-Silicide in the Doped-Phosphorus poly-Si/SiO2/Si-Substrate )

정회환 ,  주병권 ,  오명환 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .03

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

실리콘 이온 주입후 고상 결정화된 Poly-Si TFT의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of Poly-Si TFT Using SPC Films After Si ion Implantation )

이병주 ,  김재영 ,  강문상 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Poly-Si의 성장 기구와 제특성

김상욱 ,  박종욱 ,  천영일 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .07

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

The a-Si:H/poly-Si Heterojunction Solar Cells

Sang-Su Kim ,  Do-Young Kim ,  Dong-Gun Lim 외 3명

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .10

마이크로웨이브법으로 고상결정화 시킨 poly-Si 박막을 이용하여 제작한 저온 poly-Si TFT의 특성

최용우 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Si 이온주입결함이 B의 channeling 및 확산에 미치는 영향

김광일 ,  정욱진 ,  배영호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

Si 이온주입결함이 B 의 channeling 및 확산에 미치는 영향 ( Effects of Si Ion Induced Defects on Channeling and Diffusion on B )

김광일 ,  정욱진 ,  배영호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1993 .11

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

EFFECTS OF ${BF_2}^+$-IMPLANTATION ON THE STRAIN-RELAXATION AND CURRENT LEAKAGE IN N-TYPE $Ge_{0.06}Si_{0.94}$ LAYERS ON Si(100)

Oh ,  M.S. ,  Joo 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Improvement in Electrical Stability of poly-Si TFT Employing Vertical a-Si Offsets

Pa ,  k ,  J.W. 외 5명

한국정보디스플레이학회 학술대회

2000 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

Floating Poly-Si 게이트를 이용한 기억소자의 제작 및 측정 ( The Fabrication and Evaluation of a Charge Storage Device using Floating Poly-Si Gate )

백규하 ,  김광수 ,  김보우

대한전자공학회 학술대회

1984 .01

자연 산화막과 엑시머 레이저를 이용한 poly-Si/a-Si 이중 박막 다결정 실리콘 박막 트랜지스터

朴基燦 ,  朴辰雨 ,  鄭湘勳 외 1명

전기학회논문지 C

2000 .01

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01