Negative 감광성 Polyimide를 이용한 Dual Metal Process ( Dual Metal Process Using Negative Photoimagable Polyimide )

이동록; 이용균

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이동록 이용균

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (반도체/재료부품/CAD/VLSI) 제8권 1호

발행연도: 1990.1

수록면: 25 - 27 (3page)

이용수

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