백금박막을 이용한 마이크로 가스유량센서 ( Micro Gas Flow Sensors Using Platinum Thin Film )

김영민; 김진섭; 이광만

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김영민 김진섭 이광만

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술발표회 논문집 (제주지부) 1996.01

발행연도: 1996.1

수록면: 43 - 49 (7page)

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