용융접합 및 2 단계 전기화학적 식각정지를 이용한 실리콘 막의 제조

주병권 ,  김형곤 ,  오명환 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

실리콘-유리 정전 열 접합에 있어서 상온 예비 접합에 의한 접합 특성의 개선

朱炳權 ,  李德重 ,  李允熙 외 4명

전기학회논문지

1998 .08

알루미늄의 전기화학 에칭기술 연구

이규환 ,  김만 ,  장도연 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1994 .10

실리콘 마이크로 머시닝을 위한 2단계 전기화학적 실리콘 식각 방법 ( Two-Step Electrochemical Silicon Etching Method for Silicon Micromachining )

김재관 ,  이희덕 ,  한철희

대한전자공학회 학술대회

1996 .07

유리 ∥실리콘 기판 직접 접합에 대한 연구

민홍석 ,  주영창 ,  송오성 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .05

직접접합기술을 이용한 고온용 Si 홀 센서의 제작

정귀상 ,  김용진 ,  신훈규 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

KOH 수용액에서의 전기화학적 식각정지특성

오동환 ,  김문협 ,  김성진 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

수정된 직접 접합 방법을 이용한 유리-실리콘 기판의 저온 접합에 관한 연구

朱炳權 ,  高彰基 ,  李允熙 외 6명

전기학회논문지

1997 .03

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

N2H2-H2O용액의 { 100 } Si에 대한 최적식각조건의 설정과 전기화학적 식각에의 응용 ( Establishment of Optimal { 100 } Si Etching Condition for N2H4-H2O Solutions and Application to Electrochemical Etching )

주병권 ,  이윤희 ,  김형곤 외 1명

전자공학회논문지

1989 .11

용융접합된 규소 기판쌍에 있어서 접합 계면에 발생하는 제 현상들의 고찰

방준호 ,  주병권 ,  오명환 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

실리콘 Membrane 구조 형성을 위한 Wet Etching에 관한 연구

김동수 ,  정원채

대한전자공학회 학술대회

2001 .06

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

습식 식각법을 이용한 실리콘 팁의 제작 ( Fabrication of Si-tip Using Two-Step Etching Method for FED )

박흥우 ,  김성진 ,  주병권 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

복합 촉매 전극의 제조 및 전기화학적 특성에 관한 연구

민병승 ,  정원섭 ,  김광호 외 2명

한국표면공학회지

2002 .12

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

Fabrications of Si-based nanostructures prepared by electrochemical processing

이정호

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

대 면적 정전 접합 장치 고안 및 Si과 glass 접합 ( Design of Electrostatic Bonding Equipment for Large Area and Si-Glass Electrostatic Bonding )

문제도 ,  오재영 ,  조영래 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

초음파 접합 장치의 냉각관 설계 및 접합강도 실험

이동욱 ,  전의식

한국산학기술학회 논문지

2014 .04