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저자정보
안의국 (아주대학교) 장대순 (아주대학교) 박상철 (아주대학교)
저널정보
(사)한국CDE학회 한국CDE학회 학술발표회 논문집 한국CADCAM학회 2015 동계학술대회 논문집
발행연도
2015.2
수록면
691 - 695 (5page)

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In this paper we describe dispatching rules to improve on time delivery in semiconductor wafer FAB. This is accomplished by filtering method for global due date and local due date. First filtering factor is an attempt to optimize on time delivery from a global point of view. If queue lot is not satisfy global due date, the lot can be filtering and it gives high priority. Second filtering factor is an attempt to optimize the on time delivery from a local point of view. Second filtering factor focuses on waiting time of queue lot in current step. If waiting time of queue lot is more delay than wait TAT, the lot can be filtering and it gives high priority. For verify the performance, we developed a simulation model by modifying MIMAC6, and conducted simulation with SEEPLAN® developed by the VMS solutions. The simulation results demonstrate that the proposed dispatching rules such as achieves a better on time delivery than existing classical dispatching rules.
#Semiconductor #Scheduling #Wafer FAB #Dispatching rules

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 반도체 제조 공정
3. Dispatching rule 제안
4. 실험 및 결과 분석
5. 결론 및 향후 연구
참고문헌

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