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김동욱 (아주대학교) 박상철 (아주대학교) 오지웅 (카를로) 이성태 (브이엠에스 솔루션스) 고기훈 (브이엠에스 솔루션스) 김병희 (브이엠에스 솔루션스)
저널정보
(사)한국CDE학회 한국CDE학회 논문집 한국CDE학회 논문집 제30권 제1호
발행연도
2025.3
수록면
83 - 92 (10page)
DOI
10.7315/CDE.2025.083

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This paper presents a methodology to optimize semiconductor FAB operations by integrating simulation and scheduling. Due to the complexity and dynamic nature of modern FABs, traditional simulations fail to capture realistic interactions between AMHS simulation and scheduling. To address this, we propose a coupled simulation approach that allows real-time schedule updates and system status synchronization, enhancing responsiveness to fluctuations. Experimental results, based on the SMT2020 model, demonstrate improved production efficiency when jointly utilizing the real-time scheduler (RTS) and real-time dispatcher (RTD), compared to their isolated use. Key performance indicators, including total output, on-time delivery rate, and equipment utilization, suggest optimal FAB efficiency at specific dispatching loss thresholds, highlighting the importance of tailored RTS and RTD strategies. This approach provides a foundation for FAB digital twin research, with potential applications in real-world semiconductor manufacturing.
#FAB simulation #FAB scheduling #Semiconductor Mega FAB #Optimization of FAB Operations #Integration of simulation

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 접근 방법
3. 실험
4. 결론
References

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