Use of Hard Mask for Finer (<10 μm) Through Silicon Vias (TSVs) Etching

홍상진 ,  최소망

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2015 .01

유-무기 하이브리드 하드마스크 소재의 합성 및 식각 특성에 관한 연구

유제정 ,  황석호 ,  김상범

한국산학기술학회 논문지

2011 .04

Cl2/HBr/CF4 반응성 이온 실리콘 식각 후 감광막 마스크 제거

하태경 ,  우종창 ,  김관하 외 1명

전기전자재료학회논문지

2010 .01

Low-Loss Compact Arrayed Waveguide Grating with Spot-Size Converter Fabricated by a Shadow-Mask Etching Technique

Geon Jeong ,  Donghoon Kim ,  Junseok Choi 외 6명

[ETRI] ETRI Journal

2005 .02

The Fabrication Method of Tip Array by Glass Deep Dry Etching Process

박태규 ,  민정기 ,  오영택 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04

Thermal Behavior of Arrayed-Waveguide Grating Made of Silica/Polymer Hybrid Waveguide

Duk-Jun Kim ,  Jang-Uk Shin ,  Young-Tak Han 외 6명

[ETRI] ETRI Journal

2004 .12

플라즈마 처리에 의한 마스크 특성 변화

김좌연 ,  최상수 ,  강병선 외 2명

전기전자재료학회논문지

2008 .01

전해에칭 보호 마스크로 활용하기 위한 도금층의 레이저 패터닝

신홍식

한국생산제조학회지

2018 .02

ICP ETCHING OF TUNGSTEN FOR X-RAY MASKS

C. Jeong ,  K. Song ,  C. Pa 외 4명

한국표면공학회지

1996 .12

Lead-Frame 에칭공정에서 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 에칭특성 예측

정흥철 ,  최경민 ,  김덕줄

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2006 .01

Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation

Han-Bit Kim ,  Tae-Ho shin ,  Byeong-Gwan ji 외 7명

대한전자공학회 학술대회

2017 .01

미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구

정지원 ,  김덕줄

대한기계학회 논문집 B권

2004 .01

Efficient Masked Implementation for SEED Based on Combined Masking

HeeSeok Kim ,  Young In Cho ,  Dooho Choi 외 2명

[ETRI] ETRI Journal

2011 .04

자성 박막의 습식 식각 특성

정지원 ,  변요한

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Mask 제작기술

김진곤

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

테스트 결과값 분석을 통한 부분적 X-Masking 방법

김재산 ,  양준성

대한전자공학회 학술대회

2017 .06

Dry Etch Process Development for TFT-LCD Fabrication Using an Atmospheric Dielectric Barrier Discharge

Choi ,  Shin-Il ,  Kim 외 13명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2008 .01

고종횡비 구조물의 정밀 제작을 위한 DRIE 식각 마스크

박우성 ,  안준은

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

The Precision of Lead Frame Etching Characteristics Using Monte-Carlo Simulations

Heung-Cheol Jeong ,  Gyung-Min Choi ,  Duck-Jool Kim

International Journal of Precision Engineering and Manufacturing

2007 .01

통계적 기법을 이용한 에칭공정의 시뮬레이션

정흥철 ,  정지원 ,  최경민 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .11