The Analysis of Mechanical Behaviors of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한; 주상현; 차국헌; 심현상; 김용태; 한준희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김수한 주상현 차국헌 심현상 김용태 한준희

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2001년도 추계학술대회 연구논문 초록집

발행연도: 2001.10

수록면: 104 - 104 (1page)

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2002

The Effects of NH₃Plasma Treatment on the Density Profile of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 , 주상현 , 차국헌 외 1명 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2002.04 학술대회자료

2001

The Analysis of Mechanical Behaviors of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 , 주상현 , 차국헌 외 3명 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2001.10 학술대회자료

The Effects of NH₃ Plasma Treatment on Micromechanical Characteristics of Low Dielectric Organosilicate Films

김수한 , 주상현 , 차국헌 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2001.04 학술대회자료

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김수한

소속기관 한국화학연구원

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 17 이용수 120

주상현

소속기관 한국고분자학회

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 13 이용수 36

차국헌

소속기관 서울대학교

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 402 이용수 2,340

심현상

소속기관 한국고분자학회

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 1 이용수 3

김용태

소속기관 제일모직 연구소

주요연구분야 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 25 이용수 279

Junhee Hahn

소속기관 Korea Research Institute of Standards and Science

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 46 이용수 3,833

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