Synthesis and Characterization of Organosilicate Polymer E-Beam Resists

심재환; 이성일; 남성욱; 김기범; 윤도영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 심재환 이성일 남성욱 김기범 윤도영

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2008년도 춘계학술대회 연구논문 초록집 제33권 제1호

발행연도: 2008.4

수록면: 79 - 79 (1page)

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