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논문 기본 정보

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학술대회자료
저자정보
전지원 (서울과학기술대학교) 권성찬 (서울과학기술대학교) 박우태 (서울과학기술대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2014년도 추계학술대회
발행연도
2014.11
수록면
2,693 - 2,697 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2014

MEMS 응력센서 민감도 측정을 위한 4점 굽힘 프로브스테이션
전지원 ,  권성찬 ,  박우태 대한기계학회 춘추학술대회 2014.11 학술대회자료

2013

반도체센서 압저항 측정을 위한 4점 굽힘 프로브 스테이션
전지원 ,  권성찬 ,  박우태 마이크로전자 및 패키징학회지 2013.01 학술저널

초록· 키워드

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A four point bending apparatus has been developed to measure MEMS sensor electric sensitivity inside a four inch probe station. The apparatus that has a footprint of 110×130mm2 can apply calculated stress on a specimen by applying 10μm displacements using a vertical micrometer stage. We used finite element analysis to predict and improve the accuracy of the instrument. A metal film strain gauge was attached on a silicon test piece to experimentally verify the setup, and a force sensor is used serially to the specimen stage to increase the accuracy.
#piezoresistance(압저항) #semiconductor sensor(반도체센서) #4 point bending(4점굽힘) #packaging(패키징)

목차

Abstract
1. 서론
2. 실험장치
3. 오차분석
4. 응력 측정
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (0)

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