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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정양희 (전남대학교) 강성준 (전남대학교)
저널정보
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제18권 제10호
발행연도
2014.10
수록면
2,497 - 2,502 (6page)

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본 연구에서는 고주파 마그네트론 스퍼터링 법으로 RF 파워 (50~80 W) 를 변화시켜가며 PES 플라스틱 기판 위에 GZO (Ga₂O₃ : 5 wt %, ZnO : 95 wt %) 박막을 제작하여, 광학적 및 전기적 특성을 조사하였다. XRD 측정을 통해 공정 조건에 관계없이 모든 GZO 박막이 c 축으로 우선 성장함을 확인할 수 있었고, 70W 에서 제작한 GZO 박막이 반가폭 0.44° 로 가장 우수한 결정성을 나타내었. 박막의 표면을 AFM 으로 조사한 결과, 표면 거칠기 값은 RF 파워 70 W 에서 제작한 박막에서 가장 낮은 값인 0.20 nm 를 나타내었다. Hall 측정 결과, RF 파워 70 W 에서 제작한 GZO 박막에서 가장 낮은 비저항 6.93 × 10-4<SUP></SUP> Ω·cm 값 과 가장 높은 캐리어 농도 7.04 × 10<SUP>20</SUP> cm<SUP>-3</SUP> 및 이동도 12.70 ㎠/Vs 값을 나타내었다. 모든 GZO 박막은 RF 파워에 무관하게 가시광 영역에서 약 80 % 정도의 투과율을 나타냈으며, 캐리어 농도의 증가에 따라 에너지 밴드갭이 청색 편이 되는 Burstein-Moss 효과도 관찰할 수 있었다.
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목차

요약
Abstract
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
REFERENCES

참고문헌 (12)

참고문헌 신청
J. K. Kim / 2010 / High-Performance Transparent Conducting Ga-doped ZnO Films Deposited by RF Magnetron Sputter Deposition / Jpn. J. Appl. Phys. 49:04DP09 google schola J. F. Wager / 2008 / Transparent Electronics / Springer google schola J. Lewis / 2006 / Material Challenge for Flexible Organic Devices / Materials Today 9:38~45 google schola W. S. Wong / 2009 / Flexible Electronics : Materials and Applications / Springer google schola J. Jang / 2006 / Displays Develop a New Flexibility / Materials Today 9:46~52 google schola

이 논문의 저자 정보

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