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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정영훈 (Kyungpook National Univ.)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.23 No.4
발행연도
2014.8
수록면
361 - 367 (7page)

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Ultra-precision positioning plays a crucial role in emerging technologies such as electronics, bioengineering, optics, and various nanofabrication technologies. As a result, various nanopositioning methods have been presented. In particular, nanopositioning using a flexure mechanism and piezo-electric actuator is one of the most valuable methods because of its friction-free motion and subnanometerscale motion resolution. In this study, a rotational nanoactuator based on a rightcircular flexure mechanism and piezo-electric actuator was developed through a consideration of the kinematics and structural deformation. An experimental setup was constructed to verify the performance expectation. Consequently, it was demonstrated that the developed system had a maximum rotational angle of about 0.01 rad, as well as sufficient linearity with respect to the input voltage.
#Flexure #Nanopositioning #Rotational nanoactuator #Four-bar linakage #Piezo-electric stack actuator

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 형상설계
3. 실험장치의 구성 및 검증
4. 결론
References

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Sugihara, K. / 1989 / Piezo electrically driven XYΘ table for submicron lithography system / Review of Scientific Instruments 60 (9) : 3024 ~ 3029 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - Chen, H. T. H. / 1992 / Finite element analysis of a scanning X-ray microscope micropositioning stage / Review of Scientific Instruments 63 (1) : 591 ~ 594 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Chen, J. S. / 2000 / A ballscrew drive mechanism with piezo-electric nut for preload and motion control / International Journal of Machine Tools and Manufacture 40 (4) : 513 ~ 526 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - 권지용 / 2013 / 나노포지셔너 개발을 위한 테스트벤치 제작 / 한국생산제조시스템학회지 22 (3) : 593 ~ 599 dbpia 5. [학술지(정기간행물)] - 예상돈 / 2004 / 인치웜 리니어 모터 시스템 설계 및 제작에 관한 연구 / 한국정밀공학회지 21 (12) : 174 ~ 181 dbpia

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