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학술저널
저자정보
권지용 (Seoul National University of Science and Technology) 박근제 (Seoul National University of Science and Technology) 유원진 (Seoul National University of Science and Technology) 이치범 (Seoul National University of Science and Technology)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회지 한국생산제조시스템학회지 Vol.22 No.3-1(특집호)
발행연도
2013.6
수록면
593 - 599 (7page)

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In this study, a test-bench for developing and verifying a 1- or 2-axis nanopositioner was manufactured. Using this test-bench, adesigned and manufactured flexure stage based on an analysis can configure nanopositioning systems. A breadboard and fixture were fabricated to be equipped with various types of mechanisms and sizes of stages. The test-bench has linear encoders for calibrating sensors and verifying the orthogonality and parasitic motion of 2-axis nested-type nanopositioners. The controller was developed using LabVIEW and a TI microcontroller. A case study that exemplified the test bench for developing a nanopositioner by senior undergraduate students is shown.
#Nanopositioner #Flexure stage #Test-bench #Piezo-actuator #Capacitance sensor #Linear encoder

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 테스트벤치의 구성요소
3. 예제 : 4절링크 유연기구 개발
4. 결론
References

참고문헌 (14)

참고문헌 신청
1. [단행본] - Slocum, A. H. / 1992 / Precision Machine Design / Society of Manufacturing Engineers, USA google schola 2. [단행본] - Smith, S. T. / 1994 / Ultra-Precision Mechanism Design / CRC Press google schola 3. [단행본] - Bushan, B. / 2010 / Handbook of Micro/Nano Tribology / CRC Press google schola 4. [학위논문] - Shim, J. Y. / 1997 / A Precision XYZ-Stage for AFM Scanner Design, Analysis and Control / Master / KAIST google schola 5. [학위논문] - Kim, Y. S. / 2003 / Development of the Ultra Precision XYZ stage using the Piezo Actuator and Elastic Hinge for AFM / Master / Seoul Nat’l Univ google schola

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