메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국소음진동공학회 소음·진동 소음진동 제9권 제6호
발행연도
1999.12
수록면
1,227 - 1,233 (7page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

1999

준 경험기법을 이용한 고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적설계에 관한 연구
이홍기 ,  백재호 ,  원영재 외 2명 소음·진동 1999.12 학술저널
고집적 반도체공장의 미진동 제어를 위한 구조물의 동적 설계에 관한 연구
이홍기 ,  박재호 ,  박해동 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 1999.06 학술대회자료

1994

반도체공장에서 미진동제어를 위한 격자보의 동적 설계에 관한 연구
이홍기 ,  권형오 ,  김두훈 한국소음진동공학회 학술대회논문집 1994.11 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
Modern technology depends on the reliability of extremely high technology equipments. In the production of semiconductor wafer, optical and electron microscopes, ion-beam, laser device must maintain their alignments within a nanometer. This equipment requires a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection devices, which have sub-nanometer class high accuracy and resolution, have come to necessity for producing more improved giga and tera class semiconductor wafers. This high technology equipments require very strict environmental vibration standard, vibration criteria, in proportion to the accuracy of the manufacturing, inspecting devices. This paper deals with the structural dynamic design in high class semiconductor factory in order to be satisfied more strict vibration criteria for high sensitive equipment.
#구조물동적설계 #미진동제어 #준 경험법 #진동허용규제치 #Semi Empirical Method #Structure Dynamic Design #Sub-micro Vibration Control #Vibration criteria

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청
참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

바닥 슬래브 진동 특성을 이용한 바닥충격음 요인 분석 연구 : 유효 평면
김태민 ,  배진영 ,  양홍석 한국소음진동공학회논문집 2020 .06
바닥슬래브 구조시스템의 변경에 따른 진동성능 분석
안상경 ,  정형일 ,  정재은 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2011 .04
극 초정밀 측정시스템의 미진동제어를 위한 구조물의 동적 설계에 관한 연구
김강부 ,  김현식 ,  전종균 외 1명 한국소음진동공학회 학술대회논문집 2001 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0