통합제진시스템의 구성과 성능시험

이규섭

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2013 .04

반도체 장비용 전자기식 능동 제진 장치의 성능 예측 평가

김형태 ,  김철호 ,  이강원 외 3명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2009 .04

SYSTEM CHANNEL / 제진장치

이교삼

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2001 .07

반도체 검사 장비의 진동 분석

임경화 ,  안채헌 ,  오정배 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .04

전동기를 이용한 제진장치 제어에 관한 연구

레당카잉 ,  남택근 ,  김진만 외 1명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2011 .04

반도체 생산 시스템에서의 최적 공유 장비에 대한 연구

반장호 ,  고인선

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

반도체 정밀 생산기기 방$\cdot$제진을 위한 미진동 Design Guide Line 해석

이호범

공기청정기술

1999 .01

[반도체생산자동화 연구회] 반도체 생산장비의 신기술 동향

김두형 ,  황경현

제어로봇시스템학회지

2003 .01

건설구조물의 내진성능 향상을 위한 면진 제진기술 평가 - 면진·제진 장치의 성능평가 시험장비 구축사례

조재우 ,  김태상 ,  박진영 외 1명

한국방재학회지

2015 .01

직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치

정순원 ,  권오준 ,  구경완

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치

정순원 ,  권오준 ,  구경완

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

미진동 제진장치 평가법에 대한 고찰

박수홍 ,  김준섭 ,  옥승호 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .11

제진장치 개발에 관한 연구

남택근 ,  이동출 ,  김진만

한국마린엔지니어링학회 학술대회 논문집

2009 .06

반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR 댐퍼의 설계

성민상 ,  최승복 ,  김철호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

직접가열식 반도체 실험장비의 온도제어

이호준 ,  전창완 ,  심운용 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

테마기획 반도체 장비 : 국내 반도체 장비 개발 현황

황일록

기계저널

2000 .09

반도체 제조장비 신뢰성 평가를 위한 모듈 가속시험설계

박주영 ,  신인선 ,  권대일

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

한국 반도체 생산의 현황과 전망

이종길

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

반도체 생산 장비의 모델링과 공정제어

우광방

대한전자공학회 학술대회

1996 .01