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한국소음진동공학회 소음·진동 소음진동 제4권 제1호
발행연도
1994.3
수록면
12 - 22 (11page)

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이 글에서는 반도체 공장 미진동에 영향을 미치는 여러요인과 전파경로 그리고 방진대책에 대하여 소개하였다. 현재 국내에서는 극히 부분적으로 연구가 진행되고 있으나 대부분 실험실 차원에 머무르고 있는 실정이다. 앞으로는 현재 진행중인 국내의 반도체 공장건설 및 기기설치와 관련하여 현장 진동 data를 축적할 필요가 있으며 산업체와의 공동협조를 통해서 연구차원뿐만 아니라 현장 적용측면 까지 확대되어야 한다고 생각한다.

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