반도체 검사 장비의 진동 분석

임경화 ,  안채헌 ,  오정배 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .04

반도체 온도센서의 비교에 관한 연구

김종오 ,  김덕수 ,  이원석

대한전자공학회 학술대회

2012 .06

직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치

정순원 ,  권오준 ,  구경완

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

직접가열방식을 이용한 반도체 제조용 히팅장치

정순원 ,  권오준 ,  구경완

대한전기학회 학술대회 논문집

2008 .07

반도체 검사 장비의 챔버 내부 온도 분포의 균일성 개선

이광주 ,  정경석 ,  박성문

한국산학기술학회 논문지

2010 .10

반도체 제조공정 후처리 장치의 가열 시스템 설계

조영태 ,  마상동

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .11

반도체 제조 공정 3way 밸브의 정온 가열장치

조영태 ,  마상동 ,  임광희

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

반도체 장비의 미세진동제어를 위한 MR 댐퍼의 설계

성민상 ,  최승복 ,  김철호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

반도체 장비의 시스템 신뢰성 체계 개발 및 적용 연구

안영기 ,  정재성 ,  사윤기

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .02

선상가열시 이동열원 조건에 따른 가열 판재의 온도분포에 관한 연구

최윤환 ,  이연원 ,  최광

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

2010 .07

급속가열환경에서 A12024-T3의 인장특성

김종환 ,  김재훈

한국항공우주학회지

2004 .10

반도체 제조장비 신뢰성 평가를 위한 모듈 가속시험설계

박주영 ,  신인선 ,  권대일

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

반도체 검사 장비를 위한 문자 검출 및 인식 시스템

임광용 ,  김요환 ,  고효헌 외 3명

한국정보과학회 학술발표논문집

2014 .06

반도체 장비의 메시지 통합을 위한 소프트웨어 구조 설계

임용묵 ,  황인수 ,  김우성 외 1명

한국컴퓨터정보학회논문지

2007 .05

반도체 레이저의 주파수 제어 ( Frequency Control of Semiconductor Lasers )

신철호

Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)

1992 .08

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반도체 에칭 공정용 플라즈마 가스 제어 장치 구조 해석 Ⅱ

박상현 ,  이원석 ,  조준현 외 2명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2015 .04

반도체/디스플레이 장비용 코팅부품 평가기술

소종호 ,  송제범 ,  이승수 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

테마기획 반도체 장비 : 반도체 장비 기술교육

서화일 ,  김광선

기계저널

2000 .09