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한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 한국공작기계학회 2005 추계학술대회 논문집
발행연도
2005.10
수록면
8 - 13 (6page)

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A disk-type capacitive sensor is developed for acceptance test of a nano-stage. The capacitance between the sensor disk and rotor depends on both the air gap and the mutual area overlap, which contain three dimensional position information of the target rotor. The developed sensor has a wide measurement range since the sensor detects the capacitance variation due to the area change the target moreover, the manufacturing cost is very cheap because and the sensor can be made with a printed circuit board. First, effects of mechanical errors: the irregular air gap, the target roundness and the sensor installation errors on the measuring process of the proposed sensor were analyzed, and the sensor design criterion is discussed. A test rig was built and the effectiveness of the proposed sensor was verified through experiments.
#Disk-type capacitance sensor(원판형 정전 용량 센서) #Error analysis(오차 분석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 원판형 정전 용량 센서 모델링
3. 센서의 측정 오차 분석
4. 제작된 센서
5. 실험
6. 결론
참고문헌

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