메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
백재호 (선문대학교 대학원) 전종균 (선문대학교 기계공학과) 박상곤 (선문대학교 대학원)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제10권 제4호
발행연도
2011.1
수록면
15 - 20 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
The lithography system installed inside precision industry's (e.g. TFT-LCD) production factories are increasing in size, thereby increasing its dynamic load along with it. Such condition causes vibration within the area where the system is installed, which then negatively affects the production line to produce defective products. To prevent this type of situation, the facilities should adopt dynamic design that considers the lithography system's dynamic load. This study predicts the maximum value allowed for dynamic stiffness (which is a ratio of vibration response against a single unit of the dynamic load) of the lithography system and explains the result of its application on actual structures inside the facilities.
#TFT-LCD #Exposure Equipment #Vibration Criteria #Dynamic Stiffness Criteria

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
특허청 / 2002 / 2002 신기술동향조사 보고서-반도체 제조용 노광장치 google schola 산업자원부 기술표준원 / 2006 / 디스플레이 기술용어 해설집(LCD, PDP, OLED, FPD) :88~89 google schola 한국특허정보원 / 2006 / LCD 제조 장비-기술 및 시장, 특허분석보고서 :9~10 google schola H. Amick / 1998 / Dynamics of Stiff Floors for Advanced Technology Facilities / Trans. of ASCE, Journal of Engineering Mechanics 124(05):318~321 google schola 백재호 / 2000 / 칩마운트(SMD) 장비의 동하중 발생특성에 관한 실험적 연구 / 소음진동춘계학술대회 :1913~1917 google schola

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0