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저자정보
김영우 (서강대학교) 임빛 (서강대학교) 한대웅 (서강대학교) 이승엽 (서강대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 논문집 A권 대한기계학회논문집 A권 제38권 제2호
발행연도
2014.2
수록면
227 - 233 (7page)

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본 논문은 상용화된 와이어 본딩용 초음파 혼 시스템에서 발생하는 와이어 본딩 불량의 원인을 진동해석을 통하여 파악하고자 한다. 먼저 링 형상의 압전 구동기와 초음파 혼 그리고 캐필러리 등 각 부품의 진동 특성과 136kH의 가진 주파수 근처에서 발생하는 전체 초음파 혼 시스템의 주요 진동 모드들을 유한요소해석을 이용하여 구하였다. 136kHz에서 공진되는 전체 트랜스듀서 시스템의 진동 모드가 종진동 모드가 아닌 굽힘 진동 모드임을 조화 가진 해석과 실험으로 확인하였다. 136kHz에서 발생하는 굽힘 진동 모드는 캐필러리 끝단의 움직임이 종방향 뿐만 아니라 좌우 횡방향으로도 큰 변위가 발생하기 때문에 정밀 작업 시 본딩 불량의 원인이 될 수 있다. 가진 주파수 대역 근처인 119kHz에서 발생하는 종진동 모드는 캐필러리의 횡방향 진동이 감소하기 때문에 본딩 성능의 향상을 위해서 이러한 종진동 모드를 이용하도록 설계 변경이 필요함을 제시하였다.
#Ultrasonic Wire Bonding Machine(초음파 용접기) #Ultrasonic Horn(초음파 혼) #Vibration Mode(진동 모드) #Wire-Bonding(와이어 용접) #Piezoelectric Actuator(압전 구동기)

목차

초록
Abstract
1. 서론
2. 부품 진동 특성
3. 유한요소해석
4. 실험 및 고찰
5. 결론
참고문헌

참고문헌 (8)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 김은미 / 2010 / 초음파 금속 용착을 위한 반파장 혼의 설계 및 제작 / 한국생산제조시스템학회지 19 (6) : 790 ~ 796 dbpia 2. [학술지(정기간행물)] - Watanabe, Y. / 1992 / A Longitudinal-Flexural Complex-Mode Ultrasonic High-Power Transducer System with One-Dimensional Construction / Japanese Journal of Applied Physics 32 : 2430 ~ 2434 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Amin, S. G / 1995 / Computer-Aided Design of Acoustic Horns for Ultrasonic Machining using Finite-Element Analysis / Journal of Materials Processing Technology 55 : 254 ~ 260 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Elsner, E. / 1996 / Complete Solution of the Webster Horn Equation / Journal of the Acoustical Society of America 41 : 1126 ~ 1138 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - 서정석 / 2012 / 휴대폰 배터리 단자접합 초음파 가공을 위한 한파장 혼 설계 / 한국생산제조시스템학회지 21 (1) : 70 ~ 75 dbpia

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