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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김광백 (신라대학교)
저널정보
한국정보통신학회 한국정보통신학회논문지 한국정보통신학회논문지 제14권 제7호
발행연도
2010.7
수록면
1,551 - 1,556 (6page)

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본 논문에서는 굴곡에 의한 조도량의 차이와 명암도 차이를 퍼지 기법에 적용하여 개선된 반도체 불량 검출 방법을 제안한다. 제안된 방법은 먼저 회전각과 양선형 보관법을 이용하여 반도체 영상의 각도를 보정하는 전처리 과정을 수행한다. 그리고 굴곡에 대한 조도량의 차이와 패턴 매칭을 이용하여 얻어진 오류 영역의 명암도 차이를 퍼지 소속 함수에 적용하여 결과 값을 추론한다. 최종적으로 비퍼지화된 결괴 값을 적용하여 반도체의 초기 불량을 검출한다. 제안한 방법에서 실제 사용되는 반도체 정면 영상과 측면 영상 30쌍을 대상으로 실험한 결과, 기존의 방법에서 판단된 실제 불량 제품을 모두 검출하였다. 기존의 방법은 1㎜내의 미세한 굴곡을 가진 정상 제품을 불량으로 판별하였으나 제안된 방법에서는 오류로 검출하지 않고 정상으로 판별하였다. 따라서 기존의 방법에 비해서 반도체의 초기 불량 판단에 효과적으로 적용될 수 있다는 것을 확인하였다.
#퍼지 추론 방법 #반도체 영상 #양선형 보간법 #회전각 #Fuzzy Reasoning Method #Semiconductor Images #Bilinear Interpolation #Moment-Rotation

목차

요약
ABSTRACT
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 불량 제품 검출
Ⅲ. 실험 및 결과 분석
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [단행본] - 신장섭 / 2006 / 삼성반도체 세계 일등 비결의 해부 / 삼성경제연구소 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - D. M. Tsai / 2003 / Automatic band selection for wavelet reconstruction in the application of defect detection / Image and Vision Computing 21 (5) : 413 ~ 431 google schola 3. [학술대회논문] - S. M. Chao / 2006 / Defect detection in low-contrast glass substrates using anisotropic diffusion / IEEE Trans Proceedings of the 18th International Conference on Pattern Recognition (ICPR'06) : 654 ~ 657 google schola 4. [단행본] - S. E. Umbaugh / 1998 / Computer Vision and Image Processing / Prentice Hall PTR google schola 5. [단행본] - W. Pedrycz / 1989 / Fuzzy Control and Fuzzy Systems / Research Studies Press Ltd. google schola

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