피에조 스텍을 이용한 나노 포지셔너의 셀프-캘리브레이션

정영훈; P. M. Ferreira; 윤원수

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정영훈 P. M. Ferreira 윤원수

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2008년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2008.11

수록면: 111 - 112 (2page)

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