Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

고효율 블랙실리콘 태양전지 제작

박원진 ,  김찬울 ,  최경진

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2019 .05

Simple fabrication method of biomimetic substrate for antireflection

이덕규 ,  위엔단빙 ,  김남수 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .05

다공성 실리콘을 사용한 다결정 실리콘 태양전지 반사방지막

권재흥 ,  김동섭 ,  이수홍

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2003 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발 ( Development of Three-Dimensional Etching Simulator for a Plasma Etching Process )

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

플라즈마 식각 공정을 위한 3차원 식각 시뮬레이터 개발

권오섭 ,  이제희 ,  윤상호 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

미세공정을 이용한 p+ 실리콘 전극 제작 및 플라즈마 실험

공현구 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

2018 .10

하이브리드 모델을 이용한 플라즈마 식각 공정에서의 식각종료점 검출

김승균 ,  홍상진 ,  한승수

대한전자공학회 학술대회

2011 .06

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링

유정식 ,  하대원 ,  우광방 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1994 .10

플라즈마 식각공정의 신경회로망 모델링 ( Neural Network Modeling of Plasma Etching Process )

유정식 ,  고택범 ,  차상엽 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

플라즈마 식각방법에 의한 단결정 실리콘의 Two-Step 식각특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-Si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  김말문 외 1명

전자공학회논문지

1987 .01

플라즈마 주요 인자를 활용한 가상 계측 기반의 플라즈마 식각 공정 제어를 위한 시스템 식별

구준모 ,  박담대 ,  하대근 외 2명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2016 .03

플라즈마 식각 방법에 의한 단결성 실리콘의 Two-Step 식각 특성 ( Two-Step Etching Characteristics of Single-si by the Plasma Etching Technique )

이진희 ,  박성호 ,  남기수 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1985 .01

플라즈마 공정에서의 열 관리

강희석 ,  이대훈 ,  변성현 외 3명

KOSCO SYMPOSIUM 논문집

2015 .05

플라즈마에칭에 의한 고분자 나노 잔디 구조 제작 및 반사방지막 응용 기술

최대근 ,  이기중 ,  정준호 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .06

결정질 실리콘 태양전지에 적용되는 반사방지막에 관한 연구

이재두 ,  김민정 ,  이수홍

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2009 .11

광학센서를 이용한 실리콘 관통 전극 식각 공정에서 식각 종료점 검출

구자명 ,  홍상진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

태양전지의 반사 방지막

권재홍 ,  이수홍

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2003 .05

붕소 식각 정지층을 이용한 두 개의 한 방향 실리콘 미세 밸브의 제작

서정덕 ,  양의혁 ,  양상식

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .11

박막 실리콘 태양전지의 반사코팅 설계기술 연구

김창봉

한국산학기술학회 논문지

2011 .11