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학술저널
저자정보
E. Ohmichi (Kobe University) Y. Yasufuku (Kobe University) K. Konishi (Kobe University) H. Ohta (Kobe University)
저널정보
한국자기학회 Journal of Magnetics Journal of Magnetics Vol.18 No.2
발행연도
2013.6
수록면
163 - 167 (5page)

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We fabricated prototype cantilevers for mechanically detected high-frequency ESR measurement. Cantilevers are fabricated from silicon-on-insulator (SOI) wafers using standard MEMS techniques such as lithography, wet etching, and plasma etching. Using commercial SOI wafers, fabrication cost and the number of processes can be substantially reduced. In this study, three types of cantilevers, designed for capacitive and optical detection, are shown. Capacitive type with lateral dimensions of 3.5 × 1.6 mm² is aimed for low spin concentration sample. On the other hand, optical detection type with lateral dimensions of 50 × 200 μm² is developed for highsensitive detection of tiny samples such as newly synthesized microcrystals.
#electron spin resonance #cantilever #MEMS #terahertz waves

목차

1. Introduction
2. MEMS Process
3. Fabrication of Prototype Cantilevers
4. Summary
References

참고문헌 (6)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - E. Ohmichi / 2008 / / Rev. Sci. Instrum 79 : 103903 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - E. Ohmichi / 2009 / / Rev. Sci. Instrum 80 : 013904 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - E. Ohmichi / 2010 / / J. Low Temp. Phys 159 : 276 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Y. Tokuda / 2012 / / J. Phys. Conf. Ser 400 : 032103/1 ~ 032103/ google schola 5. [단행본] - M. J. Madou / 2012 / Fundamentals of microfabrication and nanotechnology / CRC Press google schola

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