반도체 제조 장비를 위한 개방형 제어기 플랫폼 설계

장성진 ,  김홍록 ,  서일홍

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2000 .10

소형 납 볼 제조장비의 제어기 개발

김성권

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2003 .10

수치적으로 연구된 반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성에 대한 매개변수 영향

원문충 ,  김경준

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

공조 제어기 H/W의 플랫폼화를 위한 시스템반도체 개발

권순명 ,  김진 ,  이동주 외 1명

한국자동차공학회 춘계학술대회

2016 .05

반도체 공정에서의 제조 원가 분석 모델

한주윤 ,  정봉주

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2001 .11

반도체 검사 장비의 진동 분석

임경화 ,  안채헌 ,  오정배 외 2명

한국소음진동공학회 학술대회논문집

2008 .04

반도체 장비용 공정제어기의 구조 및 기능

유준 ,  김재형 ,  송태승 외 2명

제어로봇시스템학회지

1997 .03

반도체 제조공정을 위한 새로운 생산일정 알고리즘

복진광 ,  이승권 ,  문성득 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

1998 .12

클러스터형 반도체 장비의 실시간 3차원 모니터링 및 시뮬레이션

윤택상 ,  한영신 ,  이칠기

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

TCSC의 H_∞ 제어에 의한 대규모 전력계통의 지역간 저주파진동 억제 Part Ⅱ : H_∞ 제어기 설계

金容求 ,  全瑩煥 ,  宋成根 외 2명

전기학회논문지 A

2000 .05

지능생산시스템을 위한 개방형 제어기

박경수 ,  최경현 ,  이석희

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1999 .11

초순수의 오염과 반도체 제조에 미치는 영향에 대한 연구 ( A Study on the Contamination of D. I. Water and its Effect on Semiconductor Device Manufacturing )

김흥식 ,  유형원 ,  윤철 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .11

이산시간 H^∞제어기의 설계방법

최연욱

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1997 .10

개방형 유연제조셀 제어기를 위한 오퍼레이션 모델에 관한 연구

최경현

동력시스템공학회지

2000 .11

직접가열식 반도체 실험장비의 온도제어

이호준 ,  전창완 ,  심운용 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1999 .10

반도체 장비의 시스템 신뢰성 체계 개발 및 적용 연구

안영기 ,  정재성 ,  사윤기

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .02

차량의 개방형 플랫폼에 관한 연구

김호웅 ,  홍정진

한국통신학회 학술대회논문집

2017 .06

반도체 제조장비 신뢰성 평가를 위한 모듈 가속시험설계

박주영 ,  신인선 ,  권대일

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

반도체 장비의 메시지 통합을 위한 소프트웨어 구조 설계

임용묵 ,  황인수 ,  김우성 외 1명

한국컴퓨터정보학회논문지

2007 .05