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제어로봇시스템학회 제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집 ICCAS 2005
발행연도
2005.6
수록면
139 - 144 (6page)

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목차

Abstract
1. INTRODUCTION
2. WORKING PRINCIPLE OFATEC
3. FABRICATION PROCESS OF MICRO TEC
4. MULTIPHYSICS MODELING
5. RESULTS AND DISCUSSION
6. CONCLUSIONS
A CKNOWLEDGMENTS
NOMENCLATURE
REFERENCES

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