열전박막을 이용한 마이크로 냉각소자 제작

한승우; 최현주; 김병일; 김병민; 김동호; 김욱중

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 한승우 최현주 김병일 김병민 김동호 김욱중

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2007.5

수록면: 2,243 - 2,246 (4page)

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In general a thermoelectric cooler (TEC) consists of a series of P type and N type thermoelectric materials sandwiched between two wafers. When a DC current passes through these materials, three different effects take place; Peltier effect, Joule heating effect and heat transfer by conduction due to temperature difference between hot and cold plates. In this study we have developed a micro TEC using Bi2Te3 (N type) and Bi0.5Sb1.5Te3 (P type) thin films. In order to improve that performance of a micro TEC, we made 10 um height TE legs using special PR only for lift-off. We measured COP (coefficient of performance) and temperature difference between hot and cold connectors with current.

#Micro thermoelectric cooler(마이크로열전냉각기) #Thin Film(박막) #Co-Sputtering(코스퍼터링)

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