Computationally-Investigated Thermal Behaviors of Control Modules for Semiconductor Manufacturing Machines

Van T ,  ong Nguyen ,  Kyoung Joon Kim

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

On Robust Dynamic Controller Design

Sang Hwa Jeong

KSME International Journal

1994 .06

A Class of Robust Controller Design

Ki Doo Kim

KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING

1994 .01

RAPID THERMAL PROCESSING CHARACTERIZATION

C. B. Ya ,  ling ,  W. A. Keenan

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Particle Measurement and Control in Semiconductor Manufacturing

R. P. Donovan

대한설비공학회 강연회 및 기타간행물

1990 .09

반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성 조사를 위한 컴팩트 열모델

원문충 ,  김경준

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

수치적으로 연구된 반도체 제조장비의 제어모듈의 열특성에 대한 매개변수 영향

원문충 ,  김경준

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor

Byung-Wook Choi ,  Seong-Gyu Choi ,  Jae-Hong Pa 외 2명

Journal of Electrical Engineering and Information Science

1997 .02

A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor

Byung-Wook Choi ,  Seong-Gyu Choi ,  Jae-Hong Pa 외 2명

Journal of Electrical Engineering and information Science

1997 .04

Robust 제어기에 관한 연구동향

권욱현 ,  김상우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1986 .10

Robust 제어기에 관한 연구동향 ( A Survey on the Robust Controller )

권욱현 ,  김상우

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Plasma Characteristics for Semiconductor Processing

장홍영

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2008 .01

Robust Controller Design for Plant Uncertainty

A. Numsom ,  an ,  K. Witheephanich 외 3명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2006 .10

Laser Application in Semiconductor Processing

Koichi Toyoda

대한전기학회 학술대회 논문집

1987 .11

에너지 저장장치를 이용한 풍력 디젤 연계 계통의 강인 제어기 설계

이승환 ,  이태규 ,  김정욱

전기학회논문지 P

2020 .09

Dynamic Output-Feedback Receding Horizon H_∞ Controller Design

Seung Cheol Jeong ,  Jeong Hye Moon ,  PooGyeon Pa 외 1명

International Journal of Control, Automation, and Systems

2004 .12

Design of a CAN Controller

Namsub Kim ,  Kyoohyung Cho ,  Dawi Kim 외 2명

대한전자공학회 ISOCC

2005 .10

Dynamic Output-Feedback Receding Horizon H_∞ Controller Design

Seung Cheol Jeong ,  Jeong Hye Moon ,  PooGyeon Pa 외 1명

International Journal of Control Automation and Systems

2004 .12

AN OPTIMAL ROBUST CONTROLLER DESIGN WITH OBSERVER

Zhao Chan Gan ,  Yang Yong

대한전자공학회 기타 간행물

1992 .01

Effective Process Design and Robust Manufacturing for Hydroforming Parts

Stefan We ,  ne ,  Ba 외 3명

기타자료

2005 .11