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이용수
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Rapid Thermal Processor
Ⅲ. Thermal Modeling of RTP
Ⅳ. Temperature Controller Design
Ⅴ. Conclusions
Acknowledgements
References
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A Robust Controller Design for Uniform Temperature Control of Nonlinear Multivariable Rapid Thermal Processor
Journal of Electrical Engineering and Information Science
1997 .02
Design of Optimal H∞ Multivariable Robust Controllers with Solving the Model-Matching Problem
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
Nonlinear adaptive control for multivariable system
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2002 .10
Controller Design of Multivariable Variable Structure Systems with Nonlinear Switching Surfaces
JOURNAL OF KIEE
1991 .03
The Robust Controller Design for Uncertain Multivariable Systems Using Switching Dynamics
대한전자공학회 학술대회
1989 .01
MULTIVARIABLE WEIGHTED ADAPTIVE CONTROLLER DESIGN AND ITS APPLICATION
대한전기학회 학술대회 논문집
1986 .07
Development of a Robust Nonlinear Prediction-Type Controller
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1998 .10
A Robust Controller Design for Rapid Thermal Processing in Semiconductor Manufacturing
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1995 .10
다변수 비선형시스템에서의 강인한추적
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1990 .10
다변수 비선형시스템에서의 강인한 추적 ( Robust Tracking in Multivariable Nonlinear Systems )
대한전자공학회 학술대회
1990 .01
On Robust Dynamic Controller Design
KSME International Journal
1994 .06
A Class of Robust Controller Design
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1994 .01
Nonlinear robust control of a quadrotor for point tracking based on nonlinear disturbance observer
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2015 .10
ADAPTIVE DIGITAL CONTROL OF MULTIVARIABLE SYSTEMS
대한전자공학회 학술대회
1979 .01
Control-Relevant Experiment Design for Multivariable Systems
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
불확실한 하드 비선형에 대한 강인한 다변수 비선형 제어기법 연구 ( A Study on the Robust Nonlinear Multivariable Control for Uncertain Hard Nonlinear System )
대한기계학회 춘추학술대회
1998 .01
구조화된 불확실성을 갖는 하드 비선형 시스템에 대한 강인한 다변수 비선형 제어
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
1998 .12
Robust Output Feedback Compensator Design for Multivariable Systems
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1991 .10
Robust Output Feedback Compensator Design for Multivariable Systems
대한전자공학회 학술대회
1991 .01
LMI-Based Robust Controllers for DC-DC Cascade Boost Converters
JOURNAL OF POWER ELECTRONICS
2012 .07
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