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이용수
Abstract
1. 서 론
2. 반도체 제조공정에서의 Capacity 정의
3. 반도체 제조 라인의 생산능력 결정
4. 결론 및 추후 연구과제
참고문헌
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Interconnection in Semiconductor Fabrication
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Fabrication of I2L Process and Its Characteristics
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1995 .04
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1980 .01
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Industrial Engineering & Management Systems
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반도체 가스 검지소자의 제조 및 그의 전기적 특성 ( Fabrication of Semiconductor Gas Sensors and their Electrical Characteristics )
전자공학회지
1978 .10
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