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Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2006년도 춘계학술대회 논문요약집
발행연도
2006.5
수록면
335 - 336 (2page)

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2006

화합물반도체공장의 생산정보수집시스템
이승우 ,  송준엽 ,  이화기 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2006.05 학술대회자료

2003

화합물 반도체 공장의 통합생산시스템 설계에 관한 연구
이승우 ,  박지훈 ,  이화기 산업경영시스템학회지 2003.01 학술저널

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Compound semiconductor manufacturing environment also has been emerged as mass customization and open foundry service so integrated manufacturing system is needed. In this study, we design data acquisition system of compound semiconductor fabrication that has monitoring and control of process. The developed D ... 전체 초록 보기
#Compound semiconductor fabrication(화합물반도체공장) #Data acquisition system(생산정보수집시스템) #GEM protocol(반도체장비 표준통신규약) #Key-in inputted by operator(작업자입력방식)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 화합물반도체 제조공정 특징
3. 공정정보수집시스템
4. 결론
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