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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2007.5
- 수록면
- 934 - 940 (7page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (2)
2007
Defect pattern Recognition in Semiconductor Fabrication using Model-based Clustering and Bayesian Inference
Suk joo Bae
,
Seong-joon Kim
한국경영과학회 학술대회논문집
2007.05
학술대회자료
Defect pattern Recognition in Semiconductor Fabrication using Model-based Clustering and Bayesian Inference
Suk joo Bae
,
Seong-joon Kim
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2007.05
학술대회자료
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목차
Abstract
1. Introduction
2. Defect Denoising
3. Model-based Clustering for Spatial Defects
4. Clustering via Bayesian
5 Results
6. Conclusions
Acknowledgements
References
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