메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류
인문학
인문학 일반 역사학 철학 종교학 어문학 기타 인문학
사회과학
사회과학 일반 경영학 관광학 교육학 군사학 문헌정보학 법학 사회학 신문방송학 심리과학 정치외교학 지리학 행정학 경제학 무역학 인류학 기타 사회과학
자연과학
자연과학 일반 물리학 생물학 생활과학 수학·통계학 천문학 지구과학 화학 기타 자연과학
공학
공학 일반 건축공학 기계공학 산업공학 재료·에너지공학 전기전자공학 조선해양공학 화학공학 컴퓨터학 기타공학
의약학
의학 일반 간호학 수의학 약학 한의학 기초의학 임상의학 기타 의약학
농수해양학
농수해양학 일반 농학 수산학 식품과학 임학 축산학 해상운송학 기타 농수해양학
예술체육학
예술 일반 디자인 미술 미용 사진 음악학 의상 체육 공연매체예술 기타 예술체육학
복합학
학제간연구 과학기술학 뇌인지과학 기술정책 기타 복합학

ENG

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김선억 (고려대학교) 고효헌 (고려대학교) 김지현 (고려대학교) 김성식 (고려대학교)
저널정보
대한산업공학회 산업공학 (IE interfaces) 산업공학 (IE interfaces) 제21권 제2호
발행연도
2008.6
수록면
141 - 150 (10page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2008

Dual Damping EWMA를 이용한 효율적인 반도체 공정 제어에 관한 연구
김선억 ,  고효헌 ,  김지현 외 1명 산업공학 (IE interfaces) 2008.06 학술저널

2007

Dual Damping EWMA를 이용한 효율적인 반도체 공정 제어에 관한 연구
김선억 ,  고효헌 ,  류혜준 외 1명 한국경영과학회 학술대회논문집 2007.05 학술대회자료
Dual Damping EWMA를 이용한 효율적인 반도체 공정 제어에 관한 연구
김선억 ,  고효헌 ,  류혜준 외 1명 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2007.05 학술대회자료

초록· 키워드

오류제보하기
In this paper, an efficient control method for semiconductor fabrication process is presented. Generally, control is performed with data which is under the influence of process disturbance. EWMA is one of the most popular control methods in semiconductor fabrication that effectively deals with varying process condition. A new method using EWMA, called the Dual Damping EWMA, is presented in this study to reduce over-control by separating weight factor of input and output. The goal is to reflect Drift but reduce the effects of White noise in run to run control. Simulation is performed to evaluate the performance of DPEWMA and to compare with EWMA and Double EWMA.
#semiconductor #FAB control #EWMA #control logic

목차

1. 서론
2. 본론
3. 실험계획 및 결과분석
4. 결론 및 추후연구
참고문헌

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Bode, C. A. / 2004 / Run-to-run Control and Performance Monitoring of Overlay in Semiconductor Manufacturing / Control Engineering Practice 12 (7) : 893 ~ 900 google schola 2. [단행본] - Boning, D. / 1995 / Practical Issues in Run Process Control, Proc / Sixth Annual SEMI/IEEE ASMC google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Box, G. E. P. / 1963 / Future Contributions to Adaptive Quality Control : Simultaneous Estimation of Dynamics: Nonzero Costs / Bulletin of the International Statistical Institute 34 : 943 ~ 974 google schola 4. [단행본] - Box, G. E. P. / 1997 / Statistical Control by Monitoring and Feedback Adjustment / Wiley-Interscience google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Butler, S. W. / 1994 / Supervisory Run-to-Run Control of a Polysilicon Gate Etch Using in Situ Ellipsometry / IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 7 (2) : 193 ~ 201 google schola

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

EWMA 관리도 최적화를 통한 반도체 제조 공정의 설비 미세변동 감지력 향상에 관련 연구
김민철 ,  변권현 ,  김종규 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2013 .05
Design of a General Multivariate EWMA Control Chart
Sungwoon Choi ,  Sanghoon Lee 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 1999 .10
An EWMA-based Control Scheme by Using Multiple Testing
이상호 ,  전치혁 대한산업공학회 추계학술대회 논문집 2009 .10
다양한 방해요인이 존재하는 공정에서의 EWMA 제어모수 선택 방법
강석찬 ,  김동현 ,  김지현 외 1명 대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집 2007 .05
시계열 예측을 위한 EWMA퓨전
신현원 ,  손소영 대한산업공학회지 2002 .06

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2013-530-003455772