Wafer to Wafer(W2W) Stacked IC 공정 개발

금병훈 ,  임기민 ,  서원 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

Overview of High Performance 3D-WLP

Kim ,  Eun-Kyung

한국재료학회지

2007 .01

전자빔을 이용한 중금속이온 (Cr⁺⁶) 의 제거

권기식 ,  이홍승 ,  김병남 외 4명

대한환경공학회 학술발표논문집

1999 .04

Automated Wafer Separation from the Stacked Array of Solar Cell Silicon Wafers Using Continuous Water Jet

Kim ,  Kyoung-Jin ,  Kim 외 3명

반도체디스플레이기술학회지

2010 .01

전자빔 검사 장비의 기능 설계

임선종

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2016 .04

Characteristics of Electron Beam Extraction in Large Area Electron Beam Generator

Sung-Hun Woo ,  Hong-Sik Lee

KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications

2004 .02

The System Design of a Miniaturized Unmanned Vehicle

M.Heechang ,  K.Changman ,  K.Sanggyum 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2002 .10

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

전자빔에 의한 계면경사 Ni(50%)-Cr(50%)/Steel 재료 제조에 관한 연구

김재현 ,  김도훈

한국레이저가공학회 학술대회 논문집

1999 .01

Advanced Wafer-to-Wafer and Chip-to-Wafer Bonding for 3D Integration

Bioh Kim ,  Paul Kettne ,  Stefan Pa 외 5명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

마찰 접촉력을 고려한 다발 보 ( Stacked Beam ) 의 진동 해석 ( Vibration Analysis of a Stacked Beam Including Frictional Contact Force )

이기수 ,  임철호

대한기계학회 논문집

1992 .08

고밀도 전자빔 응용기술 동향

강은구 ,  김한수 ,  김진석 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

Silicon WAfer Process Technology

이종덕

대한전자공학회 학술대회

1979 .01

실리콘 웨이퍼 연마헤드의 강제구동 방식이 웨이퍼 연마 평탄도에 미치는 영향 연구

김경진 ,  박중윤

반도체디스플레이기술학회지

2014 .01

주사 전자 현미경에서 전자빔 프르브 생성

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2008 .10

퍼지 논리를 이용한 웨이퍼의 사이즈 추정 알고리즘

권오진 ,  최성주 ,  조현찬 외 1명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

고밀도 전자빔 Finishing 장비의 전자빔 집속 시스템 설계

임선종 ,  최지연 ,  강은구 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

High-Energy Beam Technology for Material Processing ( Electron Beam and Laser )

Ing. Schwa ,  z ,  Messe 외 2명

대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집

1987 .01

유한요소법을 이용한 다층 박막의 잔류응력분포 예측

최현창 ,  박준협

대한기계학회 춘추학술대회

2002 .03