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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.7
- 수록면
- 791 - 798 (8page)
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모든 기계 시스템의 변수는 불확실성을 가지고 이는 시스템 성능에 직접적인 영향을 미칠 뿐 아니라 생산성 감소를 야기한다. 특히 MEMS 시스템의 크기는 매우 작으므로 일반적인 기계 시스템에 비해 제조 공차는 상대적으로 커질 수 밖에 없다. 이 제조 공차에 의한 시스템 변수 불확실성은 MEMS 시스템의 성능과 제조 수율에 영향을 미친다. 본 연구에서는 두 가지의 불확실성 해석법을 이용하여 MEMS 가속도계의 시스템 변수 불확실성에 의한 성능의 불확실성 해석을 수행하고 성능분포 및 제조수율을 예측하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. MEMS 가속도계 모델링
3. MEMS 가속도계 성능
4. 성능분포 및 제조수율 예측
5. 결론
후기
참고문헌
참고문헌 (15)
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1. [학술지(정기간행물)] - Yazdi, N / 1998 / Micromachined Inertial Sensors / Proceedings of the IEEE 86 (8) : 1640 ~ 1659
2. [학술지(정기간행물)] - Roylance, L. M / 1979 / A Batch-Fabricated Silicon Accelerometer / IEEE Transactions on Electron Devices ED-26 (12) : 1895 ~ 1905
3. [학술지(정기간행물)] - Rodulf F / 1983 / A Micromechanical Capacitive Accelerometer with a Two-point Inertial-Mass Suspension / Sensors and Actuators 4 : 191 ~ 198
4. [학술지(정기간행물)] - Kuehnel W / 1994 / A Surface Micromachined Silicon Accelerometer with On-Chip Detection Circuitry / Sensors and Actuators A 45 : 7 ~ 16
5. [학술지(정기간행물)] - van Kampen R. P / 1998 / Modeling the Mechanical Behavior of Bulk-Micromachined Silicon Accelerometers / Sensors and Actuators A 64 : 137 ~ 150
2. [학술지(정기간행물)] - Roylance, L. M / 1979 / A Batch-Fabricated Silicon Accelerometer / IEEE Transactions on Electron Devices ED-26 (12) : 1895 ~ 1905
3. [학술지(정기간행물)] - Rodulf F / 1983 / A Micromechanical Capacitive Accelerometer with a Two-point Inertial-Mass Suspension / Sensors and Actuators 4 : 191 ~ 198
4. [학술지(정기간행물)] - Kuehnel W / 1994 / A Surface Micromachined Silicon Accelerometer with On-Chip Detection Circuitry / Sensors and Actuators A 45 : 7 ~ 16
5. [학술지(정기간행물)] - van Kampen R. P / 1998 / Modeling the Mechanical Behavior of Bulk-Micromachined Silicon Accelerometers / Sensors and Actuators A 64 : 137 ~ 150
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