시스템 변수 불확실성을 고려한 MEMS 가속도 센서 설계

김용일; 유홍희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김용일 (한양대학교) 유홍희 (한양대학교)

저널정보: 대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집

발행연도: 2010.11

수록면: 1,005 - 1,011 (7page)

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Each system parameter of a MEMS accelerometer has uncertainty caused by manufacturing tolerances. The system parameter uncertainty has influences on performance variations of the entire system. Therefore, the system parameter uncertainty needs to be considered during a MEMS accelerometer design process. In this paper, uncertainty of system parameters including squeeze film damping is analyzed and a design process consisting of modeling, analysis and design is proposed. Manufacturing error rates of a MEMS accelerometer in terms of system parameter uncertainty are predictable through the process. As performances of MEMS accelerometers, sensitivity and measurable frequency range (MFR) are defined. FORM is employed to analyze uncertainty.

#MEMS accelerometer(멤스 가속도 센서) #Uncertainty(불확실성) #Sensitivity(민감도) #Measurable frequency range(측정가능 주파수) #Squeeze film damping(스퀴즈 필름 뎀핑)

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