다결정 실리콘 증착을 위한 내장형 유도결합 플라즈마 소오스에 관한 연구

김인교; 임종혁; 염근영

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 김인교 (성균관대학교) 임종혁 (성균관대학교) 염근영 (성균나노과학기술원)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍

발행연도: 2010.5

수록면: 130 - 130 (1page)

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상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
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