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정다운 (부산대학교) 김두인 (부산대학교) 김광호 (부산대학교)
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한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 춘계학술대회 및 녹색성장을 위한 표면처리 기술 워크숍
발행연도
2010.5
수록면
107 - 108 (2page)

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3성분계 B-C-N 박막은 우수한 기계적 특성으로 인해 다양한 분야에 적용 가능한 고경도 박막으로 주목받고 있다. 본 연구에서는 RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 B-C-N 박막 증착 공정 최적화를 위한 공정 변수에 대한 영향을 평가하였다. B4C 타겟 (99.5%)과 반응기체 질소 가스를 이용하여, 기본적인 증착 변수들인 질소의 분압, 모재에 ... 전체 초록 보기

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정다운 ,  김두인 ,  김광호 한국표면공학회지 2011 .04

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2012-581-004002145