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김강삼 (한국생산기술연구원) 조용기 (한국생산기술연구원) 송영식 (한국생산기술연구원) 임태홍 (한국생산기술연구원)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 한국표면공학회 2010년도 추계학술대회 및 한일 국제 심포지엄
발행연도
2010.11
수록면
139 - 140 (2page)

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CIGS 태용전지용 Mo 후면전극은 높은 전기전도성과 열적 안전성이 우수하여 유리 및 SUS계 연성기판재 등에 사용되고 있다. 스퍼터링법에 의한 Mo 박막 증착에서 밀착성 및 전도성을 위해 단일박막 보다 이중박막으로 증착하는 것이 통상적이다. 기존 스퍼터링법에서 증착속도 및 이온화 등이 우수한 AIP(Arc Ion Plating) 법을 이용하여 Mo 박막을 증착하고자 하였다. AIP법에 의해 제조된 Mo 단일박막은 스퍼터링법에 비해 공정압력에 크게 영향을 받지 않았으며, 10 μΩ-㎝ 이하로 전도성이 매우 우수하였다. 그러나 잔류 압축 응력이 높 ... 전체 초록 보기

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