Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Nanometer-Patterned Magnetic Tunnel Junction Stack for STT-MRAM

Y. B. Xiao; E. H. Kim; C. W. Chung

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Y. B. Xiao (인하대학교) E. H. Kim (인하대학교) C. W. Chung (인하대학교)

저널정보: 한국자기학회 한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집 ICAUMS 2010

발행연도: 2010.12

수록면: 130 - 130 (1page)

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Y. B. Xiao

소속기관 인하대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 66

E. H. Kim

소속기관 인하대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 4 이용수 66

Chee Won Chung

소속기관 Inha University

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학 자연과학 > 물리학

논문수 21 이용수 347

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