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저자정보
임정우 (경희대학교) 정관수 (경희대학교) 유재수 (경희대학교) 송영민 (광주과학기술원) 이용탁 (광주과학기술원)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제37회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2009.8
수록면
231 - 231 (1page)

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