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사중극 질량 분석기(QMS)를 이용한 혼합기체 조성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 혼합가스 성분분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
사중극 질량분석기[QMS]를 이용한 H₂ 및 CO의 부분압 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
QMS의 이온소스 신뢰성 평가 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
QMS를 이용한 반도체 공정용 혼합 기체 조성비의 정량적 측정 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
나의 QMS 사용기 - 8종/20년
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
잔류기체 분석기 교정장치 개발
Applied Science and Convergence Technology
2007 .03
잔류기체분석기 특성평가장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .08
영상 시정거리와 PM1.0, PM2.5 및 PM10의 질량농도 간의 상관성
한국대기환경학회 학술대회논문집
2014 .10
QMS를 이용한 플라즈마 공정 진단
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
QMS를 이용한 radical의 공간분포 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
QMS 신뢰성 평가 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 주입위치에 따른 분압의 QMS Monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
H2+Ar+CF4 ICP 시스템에서 CF4 상하부 주입시 Mesh 효과에 따른 Multi QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
사일레인, 알곤, 수소의 혼합기체로 발생된 플라즈마에서 수소 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
기체 흐름 기술을 이용한 원거리 대기압 질량분석 이미징 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 바이오 응용을 위한 QMS 시스템 구성
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
Etch back용 remote plasma system의 수치 모델링 및 QMS monitoring
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
이온 질량 분석기의 제작 및 플라즈마 이온분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
QMS 이온소스 anode의 charging effect가 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
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