PEALD 장치 제작 및 Co박막 증착

이두형 ,  노승정

Applied Science and Convergence Technology

2007 .03

Self-formation of Diffusion Barrier at the Interface between Cu-V Alloy and SiO₂

문대용 ,  박재형 ,  한동석 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Formation of a Bilayer Ordered Surface Alloy of Mn Thin Films

W. Kim ,  J. Sea ,  J.-S. Kim S.-J. Oh

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Self-forming Barrier Process Using Cu Alloy for Cu Interconnect

문대용 ,  한동석 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

Surface Alloy Formation of Nb on Cu(100)

이준희 ,  윤홍식 ,  양경득 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Unusual Ferromagnetic Clusters and Crystal Structure Freezing by the Local Distortion Effect on La doped Ho_0.8La_0.2Mn₂O₅

Hsiung Chou ,  C. B. Wu ,  C. C. Yu

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Ordered Mn surface alloys on Au(001)

W. Kim ,  S.-J. Oh ,  J. Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .07

ALD와 PEALD 공정에서의 파티클 형성과 박막 특성 비교

강고루 ,  김진태 ,  차덕준 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .02

In-situ PEALD process monitoring using high-speed optical plasma monitoring system

Zeeshan ARSHAD ,  Kyungjae CHO ,  Sang Jeen HONG

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

The study of the c(2×2) ordered Mn surface Alloy on Pd(001)

K. W. Jung ,  S. H. Kim ,  W. D. Kim 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

The Large Low-Field Magnetic Entropy Changes in Ni₄₃Mn_46-xA_xSn₁₁ (A=Co and Cu) Alloys

Dun-hui Wang ,  Zhi-da Han ,  Cheng-liang Zhang 외 3명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05

EPR SPECTRA OF Mn ION WITH TWO PHASES IN THE Y - Ba - Cu - Mn - O HIGH Tc SUPERCONDUCTOR

Seon Ok Kim ,  Czeslaw Rudowicz ,  Soo Hyung Lee 외 1명

한국자기학회지

1995 .10

[재료]Al-Li-Cu-Mg-Zr 합금의 미고용상에 미치는 용체화 처리 및 Mn 함량의 영향

신현식 ,  He Ming ,  조권구 외 2명

분석과학

1994 .12

ULSI용 Electroplating Cu 박막의 미세조직 연구

박윤창 ,  송세안 ,  윤중림 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .09

Properties of cobalt thin films deposited by PEALD using very high frequency (60 and 100 MHz)

박준모 ,  염원균 ,  송창훈 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Epitaxial (Mn0.66Cr0.33)₂As and (Fe0.66Mn0.33)₂As thin films : magnetic and structural properties

최성열 ,  최정용 ,  홍순철 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2005 .06

Surface alloying of Co on Cu(001) surface

S.-K. Kim ,  J.-S. Kim ,  J. Hahn 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Synthesis, Structural Details and Induction of Superconductivity in Ga_1-xPb_xSr₂Y_1-yCa_yCU₂O₇ (x＝0.0 to 0.6 & y＝0.0 to 0.5)

Shiva Kuma ,  Anuj Kuma ,  V.P.S. Awana 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2008 .12

Inverse Magnetoresistance in the Simple Spin Valve System Fe_1-xCr_x/Cu/Co

Ngoc Anh T. Nguyen ,  Hoang Yen T. Nguyen ,  H. Yil 외 2명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2007 .05