Properties of ZnO with Changing O₂ Flux grown by R.F magnetron sputtering

K. H. Park; Yonghan Roh

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: K. H. Park (성균관대학교) Yonghan Roh (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제36회 동계학술대회 초록집

발행연도: 2009.2

수록면: 270 - 270 (1page)

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2009

Electrical properties of ZnO Thin Film Transistor with changing O₂ Flux grown by R.F magnetron sputtering

K. H. Pa , k , Yonghan Roh 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

Properties of ZnO with Changing O₂ Flux grown by R.F magnetron sputtering

K. H. Pa , k , Yonghan Roh 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.02 학술대회자료

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K. H. Park

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주요연구분야 자연과학 > 물리학

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노용한

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

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