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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
임정우 (경희대학교) 유재수 (경희대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.8
수록면
240 - 240 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

열적 응집된 Pt 나노입자 마스크를 이용한 실리콘 나노구조 제작
임정우 ,  유재수 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.02 학술대회자료

2010

Au 나노 입자 마스크를 이용한 실리콘 반사방지막 제작
임정우 ,  유재수 한국진공학회 학술발표회초록집 2010.08 학술대회자료

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