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펄스 직류 전원 BCl₃/He 플라즈마를 이용한 GaAs 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
펄스 직류 전원 플라즈마를 이용한 갈륨비소와 갈륨알루미늄비소 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
펄스 직류 BCl₃ 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaAs의 건식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
저진공 펄스 직류 전원 BCl3/SF6 플라즈마를 이용한 GaAs/Al0.2Ga0.8As 화합물 반도체의 선택적 식각 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
C4F8 가스를 이용한 식각 공정 플라즈마에서 첨가 가스(Ar, Kr)에 따른 플라즈마 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
펄스 플라즈마를 이용한 라디칼 제어에 의한 실리콘 건식 식각시 RIE lag 개선에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
저진공 펄스 직류 전원 BCl3 플라즈마의 전기적 특성과 GaAs의 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
건식식각공정물성데이터베이스의 생산전략
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
플라즈마 건식식각 중에 발생하는 충격에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Pulse DC O₂ 플라즈마를 이용한 PMMA와 폴리카보네이트 기판의 건식 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
펄스 직류 CF4/ Ar 플라즈마 발생 장치의 전기적 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
임피던스 트랜스포머에 의한 펄스 직류 전원 플라즈마의 전기 특성 변화 및 GaAs 식각에 대한 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
CF₄ / Ar 플라즈마를 이용한 Bi₄ - xLaxTi₃01₂ 박막의 식각 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
CF₄/O₂/Ar 플라즈마를 이용한 3D프린팅으로 성형된 티타늄 파트의 식각 표면 관찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
SiO2 식각 시 CF4+Ar 혼합비에 따른 플라즈마 내의 화학종 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
자화 유도 결합 플라즈마의 산화물 건식 식각 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
레이저 유도 형광법을 이용한 유도 결합 플라즈마내의 CF, CF₂ 라디칼의 거동에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .02
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
SF6와 NF3를 이용한 SiNx의 건식식각특성과 관련된 변수에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
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