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Atmosphere Plasma of Gas Discharge (APGD) has been used in plasma sources for material processing such as etching, deposition, surface modification and so on due to having no thermal damages. The APGD researches on AC source with high frequency have been mainly processed. However, DC APGD studies have been not. In order to understand APGD further, it is necessary to study on fundamental properties of DC APGD.
In this paper, we developed a one-dimensional fluid simulation model with capacitively coupled plasma chamber at the atmosphere pressure (760 [Torr]). Nine kinds of Ar discharge particles such as electron (e), positive ions (Ar?, Ar₂?) and neutral particles (Ar<SUB>m</SUB>*, Ar<SUB>r</SUB>*, Ar<SUB>h</SUB>*, Ar₂*(1), Ar₂*(3) and Ar gas) are considered in the computation. The simulation was worked at the current range of 1～15 [mA]. The characteristics of voltage-current were calculated and the structure of Joule heating were discussed. The spatial distributions of Ar DC APGD and the mechanism of power consumption were also investigated.
In this paper, we developed a one-dimensional fluid simulation model with capacitively coupled plasma chamber at the atmosphere pressure (760 [Torr]). Nine kinds of Ar discharge particles such as electron (e), positive ions (Ar?, Ar₂?) and neutral particles (Ar<SUB>m</SUB>*, Ar<SUB>r</SUB>*, Ar<SUB>h</SUB>*, Ar₂*(1), Ar₂*(3) and Ar gas) are considered in the computation. The simulation was worked at the current range of 1～15 [mA]. The characteristics of voltage-current were calculated and the structure of Joule heating were discussed. The spatial distributions of Ar DC APGD and the mechanism of power consumption were also investigated.
목차
Abstract
1. 서론
2. 본론
3. 결과 및 고찰
4. 결론
참고문헌
저자소개
참고문헌 (16)
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1. [학술지(정기간행물)] - M. J. Pinheiro / 2010 / Electrical and kinetic model of an atmospheric rf device for plasma aerodynamics applications / J. Appl. Phys 108 : 33 ~ 301
4. [학술지(정기간행물)] - S. Kanazawa / 1998 / Stable glow plasma at atmospheric pressure / J. Phys. D: Appl. Phys 21 : 838 ~ 840
5. [학술지(정기간행물)] - X. Yuan / 2002 / Role of trace impurities in large-volume nobel gas atmoshpheric-pressure glow discharges / Appl. Phys. Lett 81 : 814 ~ 816
6. [학술지(정기간행물)] - J. Park / 2001 / Discharge phenomena of an atmospheric pressure radio-frequency capacitive plasma source / J. Appl. Phys 89 : 20 ~
7. [학술지(정기간행물)] - M. Moravej / 2006 / A radio-freqency nonequilibrium atmospheric pressure plasma operating with argon and oxygen / J. Appl. Phys 99 : 39 ~ 305
4. [학술지(정기간행물)] - S. Kanazawa / 1998 / Stable glow plasma at atmospheric pressure / J. Phys. D: Appl. Phys 21 : 838 ~ 840
5. [학술지(정기간행물)] - X. Yuan / 2002 / Role of trace impurities in large-volume nobel gas atmoshpheric-pressure glow discharges / Appl. Phys. Lett 81 : 814 ~ 816
6. [학술지(정기간행물)] - J. Park / 2001 / Discharge phenomena of an atmospheric pressure radio-frequency capacitive plasma source / J. Appl. Phys 89 : 20 ~
7. [학술지(정기간행물)] - M. Moravej / 2006 / A radio-freqency nonequilibrium atmospheric pressure plasma operating with argon and oxygen / J. Appl. Phys 99 : 39 ~ 305
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