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저자정보
O. V. Penkov (제주대학교) V. Yu. Plaksin (제주대학교) S. B. Joa (제주대학교) J. H. Kim (제주대학교) H. J. LEE (제주대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제38회 동계정기학술대회 프로그램집
발행연도
2010.2
수록면
480 - 480 (1page)

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