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저자정보
배상현 (충북대학교) 권득철 (충북대학교) 윤남식 (충북대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
194 - 194 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

고밀도 유도 결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 개발
배상현 ,  권득철 ,  윤남식 Applied Science and Convergence Technology 2008.09 학술저널
고밀도 유도결합 플라즈마 장치의 SiH₄/O₂/Ar 방전에 대한 공간 평균 시뮬레이터 제작
배상현 ,  권득철 ,  윤남식 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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