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자료유형
학술대회자료
저자정보
김현세 (한국기계연구원) 이양래 (한국기계연구원) 임의수 (한국기계연구원)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2010년도 추계학술대회 강연 및 논문 초록집
발행연도
2010.11
수록면
4,320 - 4,323 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

평판디스플레이 용 메가소닉 세정 시스템 제작 및 성능평가
김현세 ,  이양래 ,  임의수 대한기계학회 춘추학술대회 2011.11 학술대회자료

2010

평판디스플레이 용 Plate-type 메가소닉 세정 시스템
김현세 ,  이양래 ,  임의수 대한기계학회 춘추학술대회 2010.11 학술대회자료

초록· 키워드

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In this article, a plate-type megasonic system for cleaning flat panel displays (FPDs) was developed. The impedance characteristic of the lead zirconate titanate (PZT) actuator was measured, which was 996 ㎑. The impedance graph of the transmitter with the piezoelectric actuator was predicted with a commercial finite element method (FEM) software Ansys, and the obtained peak value was 997 ㎑, which agreed well with the measured value of 993 ㎑ with a 0.4% error. To assess the system performance, the acoustic pressures were measured and analyzed. Well-distributed acoustic pressures were observed with an average value of 12.83 ㎪, standard deviations of 8.25 ㎪. This suggests that the developed system can be applied to the particle removal in the FPD fabrication processes.
#Megasonic(메가소닉) #Flat Panel Display(FPD)(평판디스플레이) #Nano-particle cleaning(나노입자세정)

목차

Abstract
1. 서론
2. FPD 용 메가소닉 시스템 설계
3. 실험
4. 결과 및 토의
5. 결론
후기
참고문헌

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